問題解決

匠の紫外線

BPF(バンドパスフィルター)

紫外線バンドパスフィルター 波長:365nm

  • 紫外線(UV-A)領域:365nm波長をピンポイントに透過出来ないでしょうか?
  • 高圧水銀ランプを使用するので365nmを効率的に透過させたいのですが・・・
  • 限られた基板、成膜材料でしか対応が難しいと聞きますが・・・
  • UV領域は膜厚が薄く、制御が非常に難しいのでしょうか?
  • i線の波長に合わせたいのですが。。
解決!「紫外線バンドパスフィルター 波長:365nm」のチャート
※設計例であり、保障値ではありません。

匠のポイント

  • 優れた紫外線透過特性

    誘電体多層膜を成膜することにより、光の干渉を利用することで
    特定波長(365nm)を透過させるフィルターです。

    可視光での実績に基づき、紫外線の波長帯域においても
    高い透過率を実現致します。

    また、40年に及ぶ実績から、シャープな波長切り分けと
    独自の成膜時の制御技術により、高耐久やシフト低減対応が可能です。

    但し、成膜可能な基板が限定されますので、事前に確認が必要となります。
    ご利用される基板の特性を利用し、設計を行う事で最適なフィルターを実現致します。

  • ご要望の波長帯での設計・カスタマイズが可能

    お客様のご要望の波長領域に合わせた設計・成膜(コーティング)が可能です。
    透過域のみならず、阻止域での制御や入射角も重要な要素です。

    基板の特性並びにお客様の要望に合わせた設計を行いますので、
    お問い合わせ時に、基板種や波長帯をお伝え下さい。

  • 部品対応も可能

    基板調達から成膜まで可能です。
    任意の形状にカットし、部品化して出荷することも可能です。
    但し、詳細図面などを頂く必要があります。

  • 測定器

    出荷時には必ず測定チャートを添付致しますので、ご安心ください。

  • クリーンルーム対応

    作業環境は成膜から検査までそれぞれ必要なクリーン度を維持したクリーンルーム内作業となっており、
    微少膜欠陥(膜中異物等)に対しても万全の体制をとっております。

用途例

微細加工

リフトオフ装置(半導体露光用)、表面改質、親水化処理処理(濡れ性向上)、レーザ加工装置(液晶パネルのアニーリング工程)、インクジェット式プリンター、ウェーハ洗浄、UV硬化装置(光学部品等の接着、液晶パネル周辺の接着)

 

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