薄膜加工技術

微細なパターン加工

特殊な微細電極加工

各種の金属膜の成膜加工や、微細加工及び部分的な絶縁膜加工、
塩化銀化処理、白金黒処理等の化学的処理も対応可能です。

製品は全てオーダメイドです。
電極構成から図面作成、薄膜加工、チップ加工まで
一貫した体制から請け負います!!

匠のポイント

薄膜成膜加工技術

真空蒸着・スパッタリング加工を用いて、多様な金属や誘電体での成膜が可能です。
基板についても、実績種類は豊富です。最適な薄膜構成をご提案致します。

金属/合金単層膜 Au,Pt,ITO,SiO2,DLC,Pd,その他金属,合金等
膜厚 数百nm~数μ程度(別途ご相談可能)
対応基板 ガラス、フィルム、シリコンウエハー等
有機膜 選択透過膜、絶縁膜等
化学的処理 塩化銀処理、白金黒処理等
ワークサイズ 150mmまで対応可能。
微細パターン加工を実現致します。

 

加工精度
電極線幅 数μm、電極間隔:数μm 膜厚:数百nm〜数μm程度

フォトリソグラフィ、エッチング、メタルマスクによる微細パターニングを実現しております。
お客様のご要望に応じて、ベストな加工方法やレジストを選択致します。

但し、成膜物質や基板、膜厚や薄膜の積層構成などの条件すり合わせが必要です。

サブμmやnmレベルのパターンについてもご相談ください。

基板調達から成膜まで一貫生産が可能です。

安達新産業では、基板の調達から成膜加工、微細加工、チップ加工まで
一貫してオーダメイドで対応可能です。
任意の形状にカットし部品化して出荷することも可能です。

但し、詳細図面などを頂く必要があります。

クリーンルーム対応です。

作業環境は成膜から検査までそれぞれ必要なクリーン度を維持したクリーンルーム内作業となっており、
微少膜欠陥(膜中異物等)に対しても万全の体制をとっております。

少量試作も可能です。

ものづくりにおいては、仮説~検証のサイクルは必須工程です。
どれだけシミュレーション技術が発達したとしても、検証は省くことが出来ません。

ゆえに安達新産業では、特性検証のための試作は喜んで請け負います。
まずはお問い合わせください。

最適な光学特性や、加工方法をご提案いたします