薄膜加工技術

微細なパターン加工

光学薄膜+メタライズパターン加工

メタライズパターン加工に光学薄膜加工を組み合わせることで
電気的・光学的特性の付与が可能となります。

製品は全てオーダメイドです。
電極構成から図面作成、光学薄膜の設計から薄膜加工、
チップ加工まで一貫した体制で請け負います。

匠のポイント

薄膜成膜加工技術

真空蒸着・スパッタリング加工を用いて、多様な金属や誘電体での成膜が可能です。
基板についても、実績種類は豊富です。最適な薄膜構成をご提案致します。

金属/合金単層膜 Au、Ag、Pt、Cu、Ti、Cr、Ni、Al、DLC、ITO、その他金属、合金等
光学薄膜 反射防止(AR),IRカットコーティング等
対応基板 各種ガラス、樹脂、各種ウェハー(Si、SiC、Ge、GaN等)
ワークサイズ 150mmまで対応可能です。
微細パターン加工を実現致します。
加工精度
電極線幅 数μm、電極間隔:数μm 膜厚:数十nm〜数μm程度

フォトリソグラフィ、エッチング、メタルマスクによる微細パターニングを実現しております。
お客様のご要望に応じて、ベストな加工方法やレジストを選択致します。

但し、成膜物質や基板、膜厚や薄膜の積層構成などの条件すり合わせが必要です。

サブμmやnmレベルのパターンについてもご相談ください。

基板調達から成膜まで一貫生産が可能です。

安達新産業では、基板の調達から成膜加工、微細加工、チップ加工まで
一貫してオーダメイドで対応可能です。
任意の形状にカットし部品化して出荷することも可能です。

但し、詳細図面などを頂く必要があります。

クリーンルーム対応です。

作業環境は成膜から検査までそれぞれ必要なクリーン度を維持したクリーンルーム内作業となっており、
微少膜欠陥(膜中異物等)に対しても万全の体制をとっております。

少量試作も可能です。

ものづくりにおいては、仮説~検証のサイクルは必須工程です。
どれだけシミュレーション技術が発達したとしても、検証は省くことが出来ません。

ゆえに安達新産業では、特性検証のための試作は喜んで請け負います。
まずはお問い合わせください。

ご提案ラインナップ

最適な光学特性や、加工方法をご提案いたします