Graphit−iCTMとは英国TEER社が独自開発した硬質カーボンと金属を積層したマルチレイヤー構造を有するDLCコーティングの呼称です。
Graphit−iCTMはTEER社独自の閉磁場非平衡 マグネトロンスパッター方式(図1.CFUBMSIP) で成膜することにより緻密で優れた密着性、耐摩耗性、低摩擦係数などの特長を有する水素フリータイプのDLCコーティングです。機械部品、自動車部品、工具、金型などの摺動性UP、耐摩耗性UP、長寿命化など様々な用途で使用されています。
量産装置例
図1.※CFUBMIP : Close Field UnbalancedMagnetron Sputter Ion Plating system
Graphit−iCTMとはTEER社が開発した硬質カーボンと金属を積層したマルチレイヤー構造を有するDLCコーティングの呼称です。
TEER社独自の閉磁場非平衡マグネトロンスパッター方式(CFUBMSIP)コーティングシステムにより緻密で優れた耐摩耗性、低摩擦係数を有する水素フリータイプのDLCコーティングを提供します。
中間層としてカーボンと金属の傾斜組成層を有するため基材との優れた密着性、耐荷重性を付与することが可能となります。
使用環境としては大気中、オイル中、水中、高湿度中など広範囲の環境下で使用することが可能です。(図2)
機械部品、自動車部品、工具、金型などの摺動性UP、耐摩耗性UP、長寿命化など様々な用途で使用されています。(図3)
図2.条件別摺動テスト
図3.無潤滑ドリルテスト結果
摩擦係数 | 0.05〜0.12と非常に低い値を示します。特に水中では0.05、オイル中では0.09と低い値を示します。 |
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密着性 | スクラッチ試験による臨界荷重値は70N以上を示します。 |
硬さ | マイクロビッカースによる測定値は1500〜2000Hvを示します。 |
耐熱温度 | 350℃まで優れた摺動性を示します。 |
膜厚 | 1.5〜2.5μm(傾斜組成層を含む) |
表面抵抗 | 0.1〜0.2Ω 導電性を有する。 |