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ＤＬＣコート

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ＤＬＣコート

硬質カーボンと金属の積層構造を有するDLCコーティング

　

Ｇｒａｐｈｉｔ−ｉＣ^ＴＭとは英国ＴＥＥＲ社が独自開発した硬質カーボンと金属を積層したマルチレイヤー構造を有するDLCコーティングの呼称です。

Ｇｒａｐｈｉｔ−ｉＣ^ＴＭはＴＥＥＲ社独自の閉磁場非平衡 マグネトロンスパッター方式（図１．ＣＦＵＢＭＳＩＰ） で成膜することにより緻密で優れた密着性、耐摩耗性、低摩擦係数などの特長を有する水素フリータイプのＤＬＣコーティングです。機械部品、自動車部品、工具、金型などの摺動性ＵＰ、耐摩耗性ＵＰ、長寿命化など様々な用途で使用されています。

量産装置例

 

図１．※CFUBMIP : Close Field UnbalancedMagnetron Sputter Ion Plating system

 

Ｇｒａｐｈｉｔ−ｉＣ^ＴＭとはＴＥＥＲ社が開発した硬質カーボンと金属を積層したマルチレイヤー構造を有するDLCコーティングの呼称です。
ＴＥＥＲ社独自の閉磁場非平衡マグネトロンスパッター方式（ＣＦＵＢＭＳＩＰ）コーティングシステムにより緻密で優れた耐摩耗性、低摩擦係数を有する水素フリータイプのＤＬＣコーティングを提供します。
中間層としてカーボンと金属の傾斜組成層を有するため基材との優れた密着性、耐荷重性を付与することが可能となります。

使用環境としては大気中、オイル中、水中、高湿度中など広範囲の環境下で使用することが可能です。（図2）

機械部品、自動車部品、工具、金型などの摺動性ＵＰ、耐摩耗性ＵＰ、長寿命化など様々な用途で使用されています。（図3）

図２．条件別摺動テスト

 

図３．無潤滑ドリルテスト結果

特長

摩擦係数	0.05〜0.12と非常に低い値を示します。特に水中では0.05、オイル中では0.09と低い値を示します。
密着性	スクラッチ試験による臨界荷重値は70Ｎ以上を示します。
硬さ	マイクロビッカースによる測定値は1500〜2000Ｈｖを示します。
耐熱温度	350℃まで優れた摺動性を示します。
膜厚	1.5〜2.5μｍ（傾斜組成層を含む）
表面抵抗	0.1〜0.2Ω　導電性を有する。