微細なパターン加工
電気化学測定用分析チップ
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製品は全てオーダメイドです。
電極構成から図面作成、薄膜加工、フォトリソ・エッチングを用いた
パターン加工、チップ加工まで一貫した体制から請け負います!!
匠のポイント
- 薄膜成膜加工技術
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真空蒸着・スパッタリング加工を用いて、多様な金属や誘電体での成膜が可能です。
基板についても、実績種類は豊富です。最適な薄膜構成をご提案致します。金属/合金単層膜 Au、Ag、Pt、Cu、Ti、Cr、Ni、Al、DLC、ITO、その他金属、合金等 誘電体膜 各種金属酸化物、窒化物、絶縁膜等 対応基板 各種ガラス、樹脂、フィルム、各種ウェハー(Si、SiC、Ge、GaN等) ワークサイズ 150mmまで対応可能です。 - 微細パターン加工を実現致します。
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フォトリソグラフィ、エッチング、メタルマスクによる微細パターニングを実現しております。
お客様のご要望に応じて、ベストな加工方法やレジストを選択致します。現在のレベルとしては、L/Sで5μm程度までの実績がございます。
但し、成膜物質や基板、膜厚や薄膜の積層構成などの条件すり合わせが必要です。
サブμmやnmレベルのパターンについてもご相談ください。 - 基板調達から成膜まで一貫生産が可能です。
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安達新産業では、基板の調達から成膜加工、微細加工、チップ加工まで
一貫してオーダメイドで対応可能です。任意の形状にカットし部品化して出荷することも可能です。
但し、詳細図面などを頂く必要があります。 - クリーンルーム対応です。
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作業環境は、成膜から検査まで、それぞれ必要なクリーン度を維持したクリーンルーム内作業となっており、
微少膜欠陥(膜中異物等)に対しても万全の体制をとっております。 - 少量試作も可能です。
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ものづくりにおいては、仮説~検証のサイクルは必須工程です。
どれだけシミュレーション技術が発達したとしても、検証は省くことが出来ません。ゆえに安達新産業では、特性検証のための試作は喜んで請け負います。
まずはお問い合わせください。
用途例
電気化学分析、有機半導体分析電極
バイオサイエンス、有機エレクトロニクス
各種センサー用電極(ガスセンサー等)
SOFC(固体電解質)材料用電極
その他、特殊微細電極